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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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发表日期:2017
出处:压电与声光
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新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作
期刊论文
压电与声光, 2017, 页码: 260-264
作者:
张轲
;
苗斌
;
丁祥桢
;
顾智琦
;
潘天龙
;
李加东
;
吴东岷
;
张秋菊
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提交时间:2018/04/09
高频硅基超声雾化器
有限元分析
谐振频率
变幅杆
微机电系统
压电偏摆台的复合控制
期刊论文
压电与声光, 2017, 页码: 40-43
作者:
张东岳
;
王伟国
;
张振东
;
李博
;
陈健
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提交时间:2018/04/09
迟滞
压电偏摆台
Pi迟滞模型
逆模型
复合控制