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Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:  Xu, M.-F.;  W.-B. Pang;  X.-R. Xu;  X.-H. Wang and W. Huang
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Sub-nanometer precision optical fabrication of CaF2materials 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 11
作者:  Zhang, C.-L.;  L. Xu;  J. Liu;  Z.-L. Ma;  F. Wang;  Y.-Q. Gu;  L. Dai and S.-J. Peng
浏览  |  Adobe PDF(752Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：368/102  |  提交时间：2017/09/11
利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284
作者:  赵阳;  王平;  史振广;  谷勇强;  刘春来;  门树东
caj(3398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：266/103  |  提交时间：2016/07/06
几何光学  三叶像差  面形精修  条纹泽尼克多项式