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光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1222003
作者:  袁文全;  巩岩
Adobe PDF(1165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:438/130  |  提交时间:2012/05/11