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一种低耦合位移动镜支撑机构静动态性能分析 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 04, 页码: 975-981
作者:  肖前进;  贾宏光;  韩雪峰;  席睿
caj(1830Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：384/100  |  提交时间：2014/03/07
Ftir光谱仪  动镜支撑机构  柔性铰链  Pzt驱动器