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小型高分辨率平场凹面光栅光谱仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  周辉
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平场凹面光栅光谱仪  小型化  高分辨率  优化设计  机械装调  误差分析  
反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 239-243
作者:  谭鑫
caj(612Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:209/59  |  提交时间:2016/07/06
衍射效率  反应离子束刻蚀  粗糙度  罗兰光栅