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光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
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光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
差分五棱镜扫描法在大口径波前检测中的应用 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  汤兆鑫
Adobe PDF(5705Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/2  |  提交时间：2015/05/03
测量  波前检测  差分五棱镜扫描法  误差分析  
干涉仪的仪器传递函数检测方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙鸽
Adobe PDF(2452Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：418/2  |  提交时间：2014/03/15
菲索型干涉仪  干涉仪的仪器传递函数  空间频率响应特性  标准测试板