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用于智能移动设备的条纹反射法检测系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 267-279
作者:  冀翼;  张学军;  袁婷;  陶小平
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面形测量  光学检测  条纹反射  智能设备  
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
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