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X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(977Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：642/121  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  功率密度分布  热平衡  面形误差  有限元分析