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高频率皮秒激光微加工石英衬底铝膜效率 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3238-3243
作者:  金方圆;  陈波;  鄂书林;  王海峰;  邢妍
caj(897Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:311/110  |  提交时间:2016/07/06
激光微加工  皮秒激光  石英衬底铝膜  烧蚀效率  
飞秒激光与硅的相互作用过程理论研究 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2419-2424
作者:  邵俊峰;  郭劲;  王挺峰
caj(658Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:321/80  |  提交时间:2015/04/17
双温模型  非热损伤  损伤积累  飞秒激光  单晶硅