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超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  焦庆斌
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超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 53-59
作者:  焦庆斌;  巴音贺希格;  谭鑫;  李艳茹;  朱继伟;  吴娜
caj(399Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：351/100  |  提交时间：2015/04/17
光栅  湿法刻蚀  表面粗糙度  超声波震荡  润湿性增强