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Meter-scale thin film coating equipment based on meniscus-coating technology 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 1
作者:  Xu, J.;  W.-B. Xu;  H.-Y. Bu;  Z.-W. Lu;  Z.-K. Liu;  Y.-L. Hong and W.-X. Yu
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绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819
作者:  刘华;  卢振武;  熊峥;  王尧;  王鹤;  黄剑波;  谭向全;  孙强
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/117  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅