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Panoramic bispectral infrared imaging interference spectrum measurement inversion instrument 期刊论文
Chinese Optics, 2022, 卷号: 15, 期号: 5, 页码: 1092-1104
作者:  J.-G. Lv;  J.-Q. Liang;  B.-X. Zhao;  Y.-Z. Zhao;  K.-F. Zheng;  Y.-P. Chen;  W.-B. Wang;  Y.-X. Qin and J. Tao
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Development of grating-based precise displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 741-752
作者:  X.Gao;  S.-H.Li;  Q.-L.Ma;  W.Chen
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Displacement measurement,Diffraction gratings,Machinery,Manufacture  
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure