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大直径窄环带平面平面度的精确测量 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 08, 页码: 14-19
作者:  陈宝刚;  邵亮;  李剑锋
caj(389Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：303/89  |  提交时间：2016/07/06
平面度测量  谐波分析  精密转台  内调焦光管  环形平面