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大直径窄环带平面平面度的精确测量
陈宝刚; 邵亮; 李剑锋
2015-08-15
发表期刊光电工程
期号08页码:14-19
摘要为了实现大直径窄环带平面平面度的精确测量,提出一种利用内调焦光管结合精密转台的基于光学及图像处理的新方法。首先利用内调焦光管把光纤点光源成像在被测圆环上方,精密转台带动点光源的像点旋转在空间画圆,以此圆所在的平面为基准,用CCD探测器接收点光源像点,根据脱靶量测出被测点与基准平面的距离,然后把测量数据展开成傅里叶级数进行谐波分析,去除常数项及一次项对测量结果的影响,通过数据处理计算即可得到被测环面的平面度。对该方法的基本测量原理进行了研究分析,并结合实例对一外径5 m、内径4.4 m、高0.5 m的圆环零件进行平面度的测量,测得其平面度为0.285 mm,重复性为0.009 3 mm。最后对该方法的测量不确定度进行了分析,其合成标准不确定度为0.007 4 mm。
关键词平面度测量 谐波分析 精密转台 内调焦光管 环形平面
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53488
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
陈宝刚,邵亮,李剑锋. 大直径窄环带平面平面度的精确测量[J]. 光电工程,2015(08):14-19.
APA 陈宝刚,邵亮,&李剑锋.(2015).大直径窄环带平面平面度的精确测量.光电工程(08),14-19.
MLA 陈宝刚,et al."大直径窄环带平面平面度的精确测量".光电工程 .08(2015):14-19.
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