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Design of the controller of the micro-positioning system for large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 473-480
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  J. Gao;  H. Yu;  S. Zhang and X. Qi
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