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Tolerance assurance of interferometer for optical HCB process 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 8, 页码: 1945-1953
作者:  Yao, Dong;  Li, Yu-Peng;  Zhao, Ya;  Wang, Zhi;  Sha, Wei;  Wang, Yong-Xian
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Interferometers  Catalysis  Degrees of freedom (mechanics)  Fillers  Gravity waves  Laser interferometry  Position control