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支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋
caj(913Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:364/123  |  提交时间:2014/03/07
光学设计  光刻投影物镜  波前畸变  应力双折射  融石英  元件支撑  
氟化钙–氟化钡混晶制备与光学性能表征(英文) 期刊论文
硅酸盐学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1599-1602
作者:  谷亮;  曾繁明;  李春;  林海;  张莹;  刘禹;  刘景和
Unknown(725Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:429/105  |  提交时间:2014/03/07
氟化钙  氟化钡  混晶原料纯度  双折射  透过率