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光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:  杨超;  于海利;  冯树龙;  李晓天;  齐向东;  姜珊;  唐玉国
caj(448Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:426/119  |  提交时间:2015/04/17
刻划刀架  刻划光栅  刻线弯曲  刻线位置误差  光栅光谱  
超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  焦庆斌
Adobe PDF(5377Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:280/1  |  提交时间:2014/08/21
Influence of running accuracy of ruling carriage system on grating spectrum performance 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:  Yang C.;  Yu H.-L.;  Feng S.-L.;  Li X.-T.;  Qi X.-D.;  Jiang S.;  Tang Y.-G.
Adobe PDF(1639Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:340/121  |  提交时间:2015/04/24