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Investigations of high-quality aluminum film with large-area uniformity for large-size echelle grating 期刊论文
Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica, 2014, 卷号: 63, 期号: 15
作者:  Li Z.-Z.;  Yang H.-G.;  Wang X.-Y.;  Gao J.-S.
浏览  |  Adobe PDF(2422Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：302/82  |  提交时间：2015/04/24