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大口径经纬仪保护窗口镜面变形分析及结构优化研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  赵晓东
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经纬仪  保护窗口  有限元分析  Zernike多项式  神经网络  
Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Yao, C. and Y. Gong
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Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:  Yao, C. and Y. Gong
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