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The effect of ultrasonic vibration and surfactant additive on fabrication of 53.5 gr mm silicon echelle grating with low surface roughness in alkaline KOH solution 期刊论文
Ultrasonics Sonochemistry, 2018, 卷号: 40, 页码: 937-943
作者:  Jiao, Q. B.;  Zhu, C. L.;  Tan, X.;  Qi, X. D.;  Bayanheshig
浏览  |  Adobe PDF(1078Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：244/84  |  提交时间：2019/09/17
Surface roughness  Silicon echelle grating  Ultrasonic agitation  Surfactant additive  extreme-ultraviolet  si  agitation  alcohol  Acoustics  Chemistry