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超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：455/130  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
高精度双V型导轨的研磨与检测技术 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2013, 期号: 02, 页码: 184-189
作者:  宋楠;  姚雪峰;  冯树龙;  糜小涛
caj(306Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：454/93  |  提交时间：2014/03/07
双v型导轨  直线度  平行度  研磨