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离子辅助沉积法制备SiO_2介质薄膜的应力研究 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1304-1308
作者:  张金胜;  张金龙;  宁永强
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离子辅助沉积  Sio2薄膜  应力  退火  
SiO_2纳米颗粒对a-AlGaN金属-半导体-金属结构紫外探测器的影响 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 08, 页码: 879-882
作者:  贾辉;  陈一仁;  孙晓娟;  黎大兵;  宋航;  蒋红;  缪国庆;  李志明
caj(199Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:644/179  |  提交时间:2013/03/11
Sio2纳米颗粒  A-algan  Msm紫外探测器