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Defects and Microstructures in the Surface Layer of Single-crystal Silicon Induced by High-current Pulsed Electron Beam 期刊论文
Journal of Inorganic Materials, 2010, 卷号: 25, 期号: 12, 页码: 1313-1317
作者:  Wang X. T.;  Guan Q. F.;  Gu Q. Q.;  Peng D. J.;  Li Y.;  Chen B.
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