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ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤 期刊论文
激光技术, 2014, 期号: 3, 页码: 302-306
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  邓文渊;  靳京城
caj(4080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：283/75  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  激光损伤  氟化物  聚集密度  电场强度分布