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Illumination uniformity improvement in digital micromirror device based scanning photolithography system 期刊论文
Optics Express, 2018, 卷号: 26, 期号: 14, 页码: 18597-18607
作者:  Xiong, Z.;  Liu, H.;  Chen, R. H.;  Xu, J.;  Li, Q. K.;  Li, J. H.;  Zhang, W. J.
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maskless lithography  dmd  fabrication  elements  Optics  
Convex blazed grating of high diffraction efficiency fabricated by swing ion-beam etching method 期刊论文
Optics Express, 2018, 卷号: 26, 期号: 19, 页码: 25381-25398
作者:  Shen, C.;  Tan, X.;  Jiao, Q. B.;  Zhang, W.;  Wu, N.;  Bayan, H.;  Qi, X. D.
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imaging spectrometer  hyperspectral imager  ultraviolet  algorithm  alignment  design  Optics