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Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
Grating diffractive behavior of surface plasmon wave on meta-surface 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 60-73
作者:  Wang, Xue-Fei;  Lu, Zhen-Wu;  Wang, Tai-Sheng;  Yu, Wei-Xing
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Diffraction gratings  Diffraction  Electromagnetic wave polarization  Light  Metals  Numerical methods  Phonons  Photons  Surface plasmon resonance  Surface plasmons