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Influence Factors Analysis of Temperature Field of Light Guide Mirror Surface Under High Power Laser 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 10
作者:  Meng, L. and S. Shao
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Design and Measurement of Radiometric Performance of Ultra-Large Aperture Uniform Light Source 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 4
作者:  Zhang, Z.;  X. Li;  Z. Wan;  J. Sun;  H. Liu;  Z. Liu;  Y. Wang;  J. Ren and J. Ren
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Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:  Wang, Y.;  Q. Lu and Y. Gao
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Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:  Liu, Z.;  W. Li;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang;  X. Li and Q. Lu
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