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Mo/Si multilayers sputtered onto inclined substrates: experiments and simulations 期刊论文
Optics Express, 2020, 卷号: 28, 期号: 9, 页码: 13516-13531
作者:  S. Z. Sun,B. Yu,G. Tao,S. Yao,Y. Liu,W. Y. Deng,C. Li and C. S. Jin
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