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High quality ZnO thin films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition 期刊论文
Journal of Applied Physics, 2002, 卷号: 91, 期号: 1, 页码: 501-505
作者:  Li B. S.;  Liu Y. C.;  Chu Z. S.;  Shen D. Z.;  Lu Y. M.;  Zhang J. Y.;  Fan X. W.
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