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Study on a wideband, variable aperture, high resolution scatterometer for planar diffraction grating stray light measurement 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 2
作者:  Yang, J.;  R. Zhang;  L. Yin;  C. Sun and T. J. Li
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Correcting groove error in gratings ruled on a 500-mm ruling engine using interferometric control 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 21
作者:  Mi, X. T.;  H. L. Yu;  H. Z. Yu;  S. W. Zhang;  X. T. Li;  X. F. Yao;  X. D. Qi;  Bayinhedhig and Q. H. Wan
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