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氮化铝薄膜的硅热扩散掺杂研究(英文) 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 07, 页码: 768-773
作者:  王新建;  宋航;  黎大兵;  蒋红;  李志明;  缪国庆;  陈一仁;  孙晓娟
caj(216Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：711/185  |  提交时间：2013/03/11
杂质  氮化物  热扩散