Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 氮化铝薄膜的硅热扩散掺杂研究(英文) | |
王新建; 宋航 ; 黎大兵; 蒋红; 李志明; 缪国庆; 陈一仁; 孙晓娟
| |
| 2012-07-15 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| 期号 | 07页码:768-773 |
| 关键词 | 杂质 氮化物 热扩散 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27435 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王新建,宋航,黎大兵,等. 氮化铝薄膜的硅热扩散掺杂研究(英文)[J]. 发光学报,2012(07):768-773. |
| APA | 王新建.,宋航.,黎大兵.,蒋红.,李志明.,...&孙晓娟.(2012).氮化铝薄膜的硅热扩散掺杂研究(英文).发光学报(07),768-773. |
| MLA | 王新建,et al."氮化铝薄膜的硅热扩散掺杂研究(英文)".发光学报 .07(2012):768-773. |
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