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碳化硅基底改性硅表面的磁流变抛光 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 316-323
作者:  白杨;  张峰;  李龙响;  郑立功;  张学军
caj(1535Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：250/89  |  提交时间：2016/07/06
材料  表面改性硅  碳化硅  精抛光  磁流变抛光  非球面