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常压电感耦合等离子体工艺用于加工光学材料的去除函数研究 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 294-299
作者:  王旭
caj(598Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：182/49  |  提交时间：2015/04/17
光学制造  常压电感耦合等离子体  碳化硅  高精度  非球面