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Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
具有倾斜光轴的调谐双折射滤光片 期刊论文
量子电子学, 1989, 期号: 04, 页码: 381
作者:  朱世栋
caj(66Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/71  |  提交时间：2013/03/11
倾斜光轴:6625  滤光片:4987  双折射:4378  布儒斯特角:2192  多色激光器:1418  染料激光器:1152  合理选择:1140  选择方法:999  连续调谐:968  波长选择:824