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压电陶瓷偏摆镜控制单元的研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  张东岳
收藏  |  浏览/下载：321/0  |  提交时间：2017/09/17
压电陶瓷  压电偏摆镜  Pi迟滞模型  复合控制