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一种精密光栅位移测量装置的设计 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1987, 期号: 01, 页码: 63-67
作者:  乔永凡
收藏  |  浏览/下载：288/0  |  提交时间：2013/03/11
光栅尺:4674  光栅位移测量:4495  光栅付:4379  光栅莫尔条纹:3703  读数头:2412  测量精度:2347  测量装置:2066  设计:1803  仪器:1788  结构紧凑:1726