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Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
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Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
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Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts  
Subaperture stitching testing of an aspherical surface 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2012, 卷号: 39, 期号: SUPPL.1
作者:  Wang X.
Adobe PDF(1261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/37  |  提交时间：2013/03/27