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罗兰光栅在光谱仪中对接收能量的影响分析 期刊论文
光学技术, 2016, 期号: 5, 页码: 445-449
作者:  周辉;  张善文;  崔继承;  王玮;  赵旭龙;  李晓天
caj(706Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/155  |  提交时间：2017/09/17
罗兰光栅  刻线误差  曲率半径误差  定位误差  
三坐标测量曲率半径误差评价的新方法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 2, 页码: 186-192
作者:  王东方;  李全松;  贾鹏;  代雷
caj(368Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/131  |  提交时间：2017/09/17
曲率半径检测  病态矩阵  测量策略  定量评估  
原子力显微镜探针批量制备工艺分析 期刊论文
微纳电子技术, 2016, 期号: 2, 页码: 119-123
作者:  李加东;  苗斌;  张轲;  吴东岷
caj(1612Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：372/135  |  提交时间：2017/09/17
原子力显微镜(Afm)  探针  绝缘衬底上的硅(Soi)  自锐式  曲率半径