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高反射率13nmMo/Si多层膜 期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: Z1, 页码: 149-153
作者:  刘毅楠;  马月英;  曹健林
caj(65Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：359/78  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  原子力显微镜  离子束溅射镀膜  
氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究 期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 02, 页码: 169-173
作者:  初国强;  王子君;  赵家民;  刘毅南;  刘云;  刘星元;  王立军
caj(120Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：548/97  |  提交时间：2013/03/11
离子辅助沉积  Ito膜  电子束  氧空位  原子力显微镜