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软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 74-78
作者:  刘毅楠;  王占山;  李哲;  曹健林;  林宜平
caj(61Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/48  |  提交时间：2013/03/11
软x射线接触式显微术  生物样品  抗蚀膜  显影条件  
软X射线---真空紫外大电流空阴极光源的研究 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 01, 页码: 6-10
作者:  王淑荣;  唐玉国
caj(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：359/25  |  提交时间：2013/03/11
光谱辐射标准  空阴极光源  软x射线－真空紫外  
18.2nm正入射显微成像系统滤光片的研究 期刊论文
真空科学与技术, 1997, 期号: 01, 页码: 12-18
作者:  王占山;  马月英;  张俊平;  吕俊霞;  李哲;  曹健林
caj(255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：327/49  |  提交时间：2013/03/11
滤光片  显微成像系统  软x射线