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干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较 期刊论文
发光学报, 1998, 期号: 03, 页码: 80-82
作者:  王维彪;  金长春;  赵海峰;  王永珍;  殷秀华;  范希武;  梁静秋;  姚劲松
caj(43Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/68  |  提交时间：2013/03/11
硅微尖  冷阴极  干法刻蚀  湿法刻蚀  
铸铁基超硬磨料砂轮的电化学机械整形工艺及其作用机理 期刊论文
中国机械工程, 1998, 期号: 05, 页码: 76-78+6
作者:  张春河;  谭业发;  于爱兵;  林彬;  韩荣久;  徐燕申
caj(118Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：435/113  |  提交时间：2013/03/11
铸铁基金刚石/cbn砂轮  电化学机械整形  作用机理  
ELID超精密镜面磨削过程中磨削力变化规律的试验分析 期刊论文
航空精密制造技术, 1998, 期号: 01, 页码: 8-11
作者:  张春河;  林彬;  韩建华;  于爱兵;  韩荣久
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：583/94  |  提交时间：2013/03/11
超精密镜面磨削  砂轮技术  Elid 磨削力