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水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究 期刊论文
激光技术, 1994, 期号: 04, 页码: 220-224
作者:  刘国军;  徐莉;  史全林;  王喜祥;  张千勇
caj(174Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：435/85  |  提交时间：2013/03/11
Mocvd  生长速率  均匀性