Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究 | |
| 刘国军; 徐莉; 史全林; 王喜祥; 张千勇 | |
| 1994-08-28 | |
| 发表期刊 | 激光技术
 |
| 期号 | 04页码:220-224 |
| 关键词 | Mocvd 生长速率 均匀性 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31508 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘国军,徐莉,史全林,等. 水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究[J]. 激光技术,1994(04):220-224. |
| APA | 刘国军,徐莉,史全林,王喜祥,&张千勇.(1994).水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究.激光技术(04),220-224. |
| MLA | 刘国军,et al."水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究".激光技术 .04(1994):220-224. |
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