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用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜 期刊论文
发光学报, 2000, 期号: 04, 页码: 383-384
作者:  楚振生;  李炳生;  刘益春;  申德振;  范希武;  刘毅南
caj(26Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：459/98  |  提交时间：2013/03/11
氧化锌  薄膜  等离子体增强化学气相沉积