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干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较 期刊论文
发光学报, 1998, 期号: 03, 页码: 80-82
作者:  王维彪;  金长春;  赵海峰;  王永珍;  殷秀华;  范希武;  梁静秋;  姚劲松
caj(43Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：429/67  |  提交时间：2013/03/11
硅微尖  冷阴极  干法刻蚀  湿法刻蚀