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氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究 期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 02, 页码: 169-173
作者:  初国强;  王子君;  赵家民;  刘毅南;  刘云;  刘星元;  王立军
caj(120Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：530/97  |  提交时间：2013/03/11
离子辅助沉积  Ito膜  电子束  氧空位  原子力显微镜