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用锡盘抛光 α-Al_2O_3 单晶的初步实验研究 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 70-73
作者:  陈俊盼;  蔡立;  高宏刚;  陈斌;  曹健林
caj(58Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:365/61  |  提交时间:2013/03/12
Α-al_2o_3单晶  锡盘  抛光  
GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 58-63
作者:  谢伦;  高宏刚;  陈斌;  曹健林;  王建明;  刘琳
caj(81Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:399/74  |  提交时间:2013/03/11
超精密抛光  表面粗糙度  聚氨酯  Ligao_2  Sio_2  
软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 74-78
作者:  刘毅楠;  王占山;  李哲;  曹健林;  林宜平
caj(61Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:369/49  |  提交时间:2013/03/11
软x射线接触式显微术  生物样品  抗蚀膜  显影条件