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悬臂梁微型阀特性研究 期刊论文
哈尔滨工业大学学报, 2005, 期号: 02, 页码: 190-193
作者:  阚君武;  吴一辉;  杨志刚;  宣明;  吴博达;  程光明
caj(115Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：482/96  |  提交时间：2013/03/11
悬臂梁微型阀  基频  液体作用力  
一种静电驱动的可调谐微型光学器件及其制作 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2005-01-12, 公开日期: 2005-01-12
发明人:  梁静秋;  鞠挥;  王淑荣
Adobe PDF(570Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：420/38  |  提交时间：2012/08/29